PVD 및 RPD 태양광 패널 로딩 및 언로딩 장비는 HJT의 TCO 전도성 박막 제조 공정에서 사용되는 로딩 및 언로딩 장비입니다. TCO 전도성 박막의 PVD 제조는 양면 증착 공정으로, HJT 공정의 세 번째 단계이며 높은 정밀도를 요구합니다. 캐리어와 실리콘 웨이퍼 사이의 간격에 대한 이론적 정밀도는 0.1mm이지만, 실제로는 0.2mm 이내의 간격이면 충분합니다.
사례 세부 정보
HJT 자동 적재 및 하역 시스템 PVD 및 RPD 태양광 패널 적재 및 하역 장비는 HJT의 TCO 전도성 박막 제조 공정에서 사용되는 적재 및 하역 장비입니다. TCO 전도성 박막의 PVD 제조는 양면 증착 공정으로, HJT 공정의 세 번째 단계이며 높은 정밀도가 요구됩니다. 캐리어와 실리콘 웨이퍼 사이의 간격은 이론적으로 0.1mm의 정밀도를 가져야 하지만, 실제로는 0.2mm 이내의 간격이면 충분합니다. 적재 및 하역 장비는 벨트 컨베이어를 통해 실리콘 웨이퍼를 고정 장치 픽업 위치로 이송합니다. 고정 장치가 실리콘 웨이퍼를 고정하면, 웨이퍼는 캐리어의 웨이퍼 보관 슬롯에 놓이고, 실리콘 웨이퍼가 채워진 캐리어는 박막 증착을 위해 공정 챔버로 보내집니다.
업계가 직면한 과제 교정 CT(순환 단면적) 개선의 어려움, 긴 디버깅 주기
현재 국내 장비의 사이클 타임은 일반적으로 1.8초를 초과합니다. 고객들은 0.7초 돌파와 캐리어-웨이퍼 정밀도 ±0.15mm 미만을 기대하고 있으며, 이를 통해 업계 경쟁력을 높일 수 있을 것으로 예상됩니다.
협소한 공간과 복잡한 배선으로 인해 납땜 및 문제 해결이 어렵습니다. 수많은 드라이버와 네트워크 케이블, 납땜이 까다로운 대형 배터리 박스는 캐비닛 공간을 많이 차지하고 인건비와 배선비가 높습니다. 따라서 고객은 공간, 시간, 인건비를 절약할 수 있는 솔루션을 원합니다.
전반적인 비용이 높고 디버깅 효율성이 낮습니다. 정렬해야 하는 축의 수가 많아 제어 비용이 증가하는 반면, 디버깅 효율성은 낮고 문제 해결이 어렵습니다.
솔루션 특징 일회성 정렬 및 보정 기술. 이 기술은 기존의 2단계 영상 촬영 및 2단계 보정 프로세스를 1단계 영상 촬영 및 1단계 보정으로 최적화하여 정렬 플랫폼에서의 XYθ 이동 횟수를 줄이고 장비 사이클 시간을 크게 단축합니다.
올인원 맞춤형 제품
제한된 공간의 전기 제어함, 복잡한 배선, 그리고 어려운 문제 해결 문제를 해결하십시오.
가치 제공 하나의 배터리 박스에 4개의 드라이브가 설치되어 인건비와 자재비(드라이브 + 배터리 박스 + 전원 코드 + 통신 케이블)를 75% 절감합니다.
폭이 40mm(단축 드라이브 크기)에 불과한 1~4축 정렬 드라이브로 공간을 50% 이상 절약합니다.
스테퍼 모터와 서보 모터를 결합한 솔루션으로 구성되어 전체 비용을 30% 절감하고 설치 공간을 50% 이상 절약할 수 있습니다.
최대 128축까지 더욱 강력한 축 제어 기능을 제공합니다.
XYZR은 단일 MCU를 사용하여 시스템 응답 속도를 높이고 성능을 30% 향상시킵니다.
